7月4日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科(北京)科技有限公司、华海清科股份有限公司申请一项名为“用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备”的专利,授权公告号CN118181030B,授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN118181030A,申请号为CN202410518944.1,申请公布日期为2026年7月3日,申请日期为2024年4月28日,发明人靳凯强、刘殿生、刘远航、赵德文、路新春,分类号B24B7/22、B24B41/06。
专利摘要显示,本申请公开了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备,用于基板磨削的搬运装置,包括:支撑部件,用于带动基板移动;保持部件,安装于支撑部件,用于吸附基板;保持部件包括:支撑架,固定设置在支撑部件上;吸附垫,可伸缩地设置在支撑架上;环形吸盘,固定设置在支撑架上,且与吸附垫同心;保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式,以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。
天眼查数据显示,华海清科(北京)科技有限公司成立日期2019年3月1日,法定代表人刘福生,所属行业为科技推广和应用服务业,企业规模为中型,注册资本15000万人民币,实缴资本15000万人民币,注册地址为北京市北京经济技术开发区马驹桥镇盛芯街17号院1号楼。华海清科(北京)科技有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目91次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息136条,拥有行政许可9个。
华海清科(北京)科技有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种应用于真空吸盘的晶圆定心机构和晶圆清洗设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610520880.8 | 2026-04-20 | CN122206226A | 2026-06-12 | 贾洪杰、刘婷婷、王鹏 |
| 2 | 晶圆加工装置、晶圆减薄设备及晶圆处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610416799.5 | 2026-04-01 | CN121946307A | 2026-05-01 | 王同庆、赵德文、刘远航、靳凯强、周鹏飞 |
| 3 | 一种激光划片机、过滤除尘系统及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610395417.5 | 2026-03-27 | CN121928218A | 2026-04-28 | 刘远航、何旺、鲍伟成、赵德文、路新春 |
| 4 | 一种晶圆磨削组件、晶圆减薄装置及减薄方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610385517.X | 2026-03-27 | CN121928427A | 2026-04-28 | 靳凯强、刘远航、黄威、王同庆、赵德文 |
| 5 | 晶圆加工装置、供液组件及晶圆加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610353247.4 | 2026-03-23 | CN121925072A | 2026-04-24 | 张美美、徐俊成、王鹏、卢潇潇 |
| 6 | 晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备 | 发明专利 | 授权 | CN202610320010.6 | 2026-03-17 | CN121893176B | 2026-05-26 | 郑烨、刘杰、王春龙 |
| 7 | 一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610115453.1 | 2026-01-28 | CN121925091A | 2026-04-24 | 徐俊成、刘福生、刘效岩 |
| 8 | 晶圆加工系统、方法、电子设备及计算机介质 | 发明专利 | 授权 | CN202610083655.2 | 2026-01-22 | CN121572172B | 2026-04-28 | 王超、田芳馨、窦华成 |
| 9 | 晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质 | 发明专利 | 授权 | CN202610083727.3 | 2026-01-22 | CN121552242B | 2026-05-15 | 田云、辜声攀、张标、吕嘉峰 |
| 10 | 电涡流检测方法、终点检测系统、化学机械抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610666018.8 | 2026-01-22 | CN122231752A | 2026-06-19 | 王超、田芳馨、窦华成 |
| 11 | 膜厚测量装置及方法、化学机械抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610666019.2 | 2026-01-22 | CN122253076A | 2026-06-23 | 王超、田芳馨、窦华成 |
| 12 | 抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610019802.X | 2026-01-08 | CN121468390A | 2026-02-06 | 王同庆、窦华成、刘志、田芳馨 |
| 13 | 基板处理装置、清洗装置及清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511999350.8 | 2025-12-29 | CN121419596A | 2026-01-27 | 徐俊成、刘福生 |
| 14 | 一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511885779.4 | 2025-12-15 | CN121843481A | 2026-04-10 | 刘婷婷、贾洪杰、王鹏、徐俊成、王延华 |
| 15 | 一种晶圆清洗装置和清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511833144.X | 2025-12-08 | CN121693028A | 2026-03-17 | 张国伟、徐俊成、王鹏、卢潇潇 |
| 16 | 一种晶圆夹持机构、晶圆清洗装置和清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511833145.4 | 2025-12-08 | CN121843480A | 2026-04-10 | 张江勇、徐俊成 |
| 17 | 晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511649635.9 | 2025-11-12 | CN121340478A | 2026-01-16 | 刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春 |
| 18 | 一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511001321.8 | 2025-07-21 | CN121969092A | 2026-05-01 | 李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文 |
| 19 | 磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510679798.5 | 2025-05-26 | CN120206405B | 2025-08-19 | 沈午祺、李森、刘远航 |
| 20 | 磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511307082.9 | 2025-05-26 | CN121083522A | 2025-12-09 | 沈午祺、李森、刘远航 |
| 21 | 化学机械抛光设备及晶圆传输方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510647339.9 | 2025-05-20 | CN120170631B | 2025-08-19 | 路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科 |
| 22 | 化学机械抛光设备及晶圆传输方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511268736.1 | 2025-05-20 | CN120941269A | 2025-11-14 | 路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科 |
| 23 | 化学机械抛光设备及晶圆传输方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511268735.7 | 2025-05-20 | CN120941268A | 2025-11-14 | 路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科 |
| 24 | 化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510632674.1 | 2025-05-16 | CN120134207B | 2025-08-19 | 李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科 |
| 25 | 化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511214277.9 | 2025-05-16 | CN120862551A | 2025-10-31 | 李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科 |
| 26 | 竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510489702.9 | 2025-04-18 | CN120221468A | 2025-06-27 | 李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤 |
| 27 | 竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510489709.0 | 2025-04-18 | CN120033122B | 2025-08-19 | 李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤 |
| 28 | 竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511178930.0 | 2025-04-18 | CN121035009A | 2025-11-28 | 李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤 |
| 29 | 一种晶圆清洗系统和清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510467827.1 | 2025-04-15 | CN120072714A | 2025-05-30 | 刘福生、徐俊成、刘效岩 |
| 30 | 边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510428498.X | 2025-04-08 | CN119927758B | 2025-06-13 | 赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成 |
| 31 | 接触式测量器及晶圆减薄设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510428497.5 | 2025-04-08 | CN119952610B | 2025-07-15 | 路新春、赵德文、马帅、陈超 |
| 32 | 边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510962400.9 | 2025-04-08 | CN120791590A | 2025-10-17 | 赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成 |
| 33 | 接触式测量器及晶圆减薄设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511067640.9 | 2025-04-08 | CN120985536A | 2025-11-21 | 路新春、赵德文、马帅、陈超 |
| 34 | 晶圆清洗方法、装置和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510360459.0 | 2025-03-26 | CN119870026B | 2025-07-15 | 刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏 |
| 35 | 晶圆清洗方法、装置和设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510745594.7 | 2025-03-26 | CN120618927A | 2025-09-12 | 刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏 |
| 36 | 一种晶圆清洗装置和处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510349141.2 | 2025-03-24 | CN120089624A | 2025-06-03 | 刘丰迪、徐俊成、王延华、杨雪梅 |
| 37 | 装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510162295.0 | 2025-02-14 | CN119650481B | 2025-06-17 | 路新春、赵德文、韩晓铠、马旭 |
| 38 | 装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510932949.3 | 2025-02-14 | CN120933197A | 2025-11-11 | 路新春、赵德文、韩晓铠、马旭 |
| 39 | 一种晶圆后处理装置和后处理方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510081400.8 | 2025-01-20 | CN119542205B | 2025-05-13 | 张美美、王延华、徐俊成 |
| 40 | 一种晶圆后处理装置和后处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510428606.3 | 2025-01-20 | CN120319688A | 2025-07-15 | 张美美、王延华、徐俊成 |
| 41 | 晶圆清洗装置、系统、方法和化学机械抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411976834.6 | 2024-12-31 | CN119852209A | 2025-04-18 | 杨雪梅、刘福生、刘丰迪 |
| 42 | 一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411976837.X | 2024-12-31 | CN119864313A | 2025-04-22 | 王鹏、王延华、徐俊成、刘丰迪 |
| 43 | 一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411918399.1 | 2024-12-25 | CN119361523B | 2025-04-15 | 张美美、徐俊成、郭鹏 |
| 44 | 一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510365484.8 | 2024-12-25 | CN120199723A | 2025-06-24 | 张美美、徐俊成、郭鹏 |
| 45 | 夹持机构以及晶圆清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411900765.0 | 2024-12-23 | CN119480775A | 2025-02-18 | 张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东 |
| 46 | 夹持机构以及晶圆清洗装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423175212.1 | 2024-12-23 | CN223612410U | 2025-11-28 | 张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东 |
| 47 | 压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411879327.0 | 2024-12-19 | CN119495610A | 2025-02-21 | 李小娟、赵德文、付永旭、靳凯强、刘远航 |
| 48 | 晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411879330.2 | 2024-12-19 | CN119748319A | 2025-04-04 | 许刚、马旭、靳凯强、刘远航、赵德文 |
| 49 | 防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备 | 发明专利 | 授权 | CN202411879312.4 | 2024-12-19 | CN119734161B | 2025-11-21 | 李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春 |
| 50 | 防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511845874.1 | 2024-12-19 | CN121893161A | 2026-04-21 | 李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春 |
华海清科成立于2013年4月10日,于2022年6月8日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为天津市。它是国内化学机械抛光设备龙头企业,核心产品CMP设备打破国外垄断,技术领先。
华海清科主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,概念板块涵盖高校系、基金重仓、中盘股。
2025年,华海清科实现营业收入46.48亿元,在25家同行中排名第7,虽远低于北方华创的393.53亿元和中微公司的123.85亿元,但高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元。其主营业务中,半导体装备收入40.54亿元,占比87.22%;半导体服务收入5.94亿元,占比12.78%。净利润方面,2025年达10.83亿元,行业排名第5,与北方华创的54.09亿元、中微公司的20.64亿元有差距,但高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。
华海清科股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种晶圆抛光方法、抛光单元和抛光系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610705158.1 | 2026-05-21 | CN122248984A | 2026-06-19 | 田云、辜声攀、杜新祥、马海港 |
| 2 | 一种抛光带与晶圆缺口相对位置的检测装置和检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610546525.8 | 2026-04-23 | CN122099962A | 2026-05-29 | 周朝龙、辛宇航、郭垒、杨志冰 |
| 3 | 晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610432475.0 | 2026-04-03 | CN121969113A | 2026-05-01 | 南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵 |
| 4 | 抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610366890.0 | 2026-03-24 | CN122033825A | 2026-05-15 | 张力飞、王同庆、赵南皓 |
| 5 | 晶圆加工系统、终点检测装置、方法及电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610348698.9 | 2026-03-20 | CN122253080A | 2026-06-23 | 王同庆、王科、窦华成、田芳馨 |
| 6 | 晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 | 发明专利 | 授权 | CN202610230602.9 | 2026-02-27 | CN121752004B | 2026-05-15 | 王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤 |
| 7 | 化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610211064.9 | 2026-02-13 | CN122077513A | 2026-05-26 | 路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆 |
| 8 | 晶圆化学机械抛光设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610203298.9 | 2026-02-12 | CN121870631A | 2026-04-17 | 路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文 |
| 9 | 化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610204916.1 | 2026-02-12 | CN121946355A | 2026-05-01 | 路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆 |
| 10 | 化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610198479.7 | 2026-02-11 | CN121893158A | 2026-04-21 | 路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆 |
| 11 | 晶圆处理装置、控制方法及化学机械抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610198513.0 | 2026-02-11 | CN122077512A | 2026-05-26 | 路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆 |
| 12 | 一种化学机械抛光设备和抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610188222.3 | 2026-02-10 | CN121893155A | 2026-04-21 | 刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科 |
| 13 | 晶圆化学机械抛光设备及基于晶圆状态的动态密封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610188204.5 | 2026-02-10 | CN122058269A | 2026-05-19 | 张海鹏、曹冠宁、范少文、王科、孙传恽、李长坤 |
| 14 | 一种化学机械抛光设备和抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610182595.X | 2026-02-09 | CN121893154A | 2026-04-21 | 霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑 |
| 15 | 一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610049289.9 | 2026-01-15 | CN121513539A | 2026-02-13 | 陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤 |
| 16 | 抛光方法、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610009656.2 | 2026-01-06 | CN121608055A | 2026-03-06 | 王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科 |
| 17 | 抛光装置和晶圆加工设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610009659.6 | 2026-01-06 | CN121848277A | 2026-04-14 | 路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤 |
| 18 | 晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511925734.5 | 2025-12-19 | CN121729009A | 2026-03-24 | 路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成 |
| 19 | 晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511925732.6 | 2025-12-19 | CN121848541A | 2026-04-14 | 赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮 |
| 20 | 晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511923156.1 | 2025-12-19 | CN121925066A | 2026-04-24 | 刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春 |
| 21 | 晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511830466.9 | 2025-12-06 | CN121649858A | 2026-03-13 | 欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节 |
| 22 | 一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511830467.3 | 2025-12-06 | CN121715974A | 2026-03-24 | 王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟 |
| 23 | 一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511830465.4 | 2025-12-06 | CN121756222A | 2026-03-31 | 王同庆、孙传恽、张丛 |
| 24 | 一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511789495.5 | 2025-12-01 | CN121821233A | 2026-04-10 | 刘二朋、王浩、王国栋、许振杰 |
| 25 | 一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511718719.3 | 2025-11-21 | CN121670521A | 2026-03-17 | 王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏 |
| 26 | 一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511696760.5 | 2025-11-19 | CN121447528A | 2026-02-03 | 路新春、江鹏、周斌、谭锐 |
| 27 | 一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511680481.X | 2025-11-17 | CN121608057A | 2026-03-06 | 曹自立、李长坤 |
| 28 | 一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511680510.2 | 2025-11-17 | CN121693049A | 2026-03-17 | 曹自立、李长坤 |
| 29 | 晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511649635.9 | 2025-11-12 | CN121340478A | 2026-01-16 | 刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春 |
| 30 | 一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511629574.X | 2025-11-08 | CN121179339A | 2025-12-23 | 王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟 |
| 31 | 一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511553470.5 | 2025-10-29 | CN121104883A | 2025-12-12 | 窦华成、田芳馨、王科 |
| 32 | 抛光装置和晶圆加工设备 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布 | CN202511556082.2 | 2025-10-29 | CN121132497A | 2025-12-16 | 路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤 |
| 33 | 抛光方法、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布 | CN202511556080.3 | 2025-10-29 | CN121132496A | 2025-12-16 | 王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科 |
| 34 | 一种方形承载头和化学机械抛光系统 | 发明专利 | 授权 | CN202511524648.3 | 2025-10-24 | CN121004541B | 2026-02-06 | 程子政、孟松林、金军 |
| 35 | 一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511361499.3 | 2025-09-23 | CN121018398A | 2025-11-28 | 张丰达、王剑、李长坤 |
| 36 | 一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511270350.4 | 2025-09-08 | CN120862556A | 2025-10-31 | 刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟 |
| 37 | 一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511270348.7 | 2025-09-08 | CN120862555A | 2025-10-31 | 刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟 |
| 38 | 一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头 | 发明专利 | 公布 | CN202511270349.1 | 2025-09-08 | CN120985523A | 2025-11-21 | 刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟 |
| 39 | 晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511127407.5 | 2025-08-13 | CN120977917A | 2025-11-18 | 路新春、李长坤、曹自立、王科 |
| 40 | 竖直抛光装置及竖直抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511039838.6 | 2025-07-28 | CN120680396A | 2025-09-23 | 辛宇航、郭垒、周朝龙 |
| 41 | 一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511021830.7 | 2025-07-24 | CN120734904A | 2025-10-03 | 陈贺、曹自立、李灯、李长坤 |
| 42 | 一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511001321.8 | 2025-07-21 | CN121969092A | 2026-05-01 | 李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文 |
| 43 | 一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510962318.6 | 2025-07-14 | CN120791640A | 2025-10-17 | 谭锐、孙少雪、徐海洋、王科 |
| 44 | 卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510964002.0 | 2025-07-14 | CN120841269A | 2025-10-28 | 田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒 |
| 45 | 用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510925240.0 | 2025-07-05 | CN120962533A | 2025-11-18 | 王超、路新春、田芳馨 |
| 46 | 一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510914634.6 | 2025-07-03 | CN120715804A | 2025-09-30 | 路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科 |
| 47 | 一种晶圆处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510914728.3 | 2025-07-03 | CN120715797A | 2025-09-30 | 路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科 |
| 48 | 一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510900113.5 | 2025-07-01 | CN120816419A | 2025-10-21 | 王剑、李俊卿、李长坤 |
| 49 | 一种晶圆传输方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510900110.1 | 2025-07-01 | CN120985526A | 2025-11-21 | 王剑、李俊卿、李长坤 |
| 50 | 一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510757567.1 | 2025-06-09 | CN120674375A | 2025-09-19 | 孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤 |
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