华海清科、华海清科取得基板搬运装置相关专利,搬运装置多种模式吸附基板并带动移动
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2026-07-04 09:25:24

7月4日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科(北京)科技有限公司、华海清科股份有限公司申请一项名为“用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备”的专利,授权公告号CN118181030B,授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN118181030A,申请号为CN202410518944.1,申请公布日期为2026年7月3日,申请日期为2024年4月28日,发明人靳凯强、刘殿生、刘远航、赵德文、路新春,分类号B24B7/22、B24B41/06。

专利摘要显示,本申请公开了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备,用于基板磨削的搬运装置,包括:支撑部件,用于带动基板移动;保持部件,安装于支撑部件,用于吸附基板;保持部件包括:支撑架,固定设置在支撑部件上;吸附垫,可伸缩地设置在支撑架上;环形吸盘,固定设置在支撑架上,且与吸附垫同心;保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式,以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。

天眼查数据显示,华海清科(北京)科技有限公司成立日期2019年3月1日,法定代表人刘福生,所属行业为科技推广和应用服务业,企业规模为中型,注册资本15000万人民币,实缴资本15000万人民币,注册地址为北京市北京经济技术开发区马驹桥镇盛芯街17号院1号楼。华海清科(北京)科技有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目91次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息136条,拥有行政许可9个。

华海清科(北京)科技有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种应用于真空吸盘的晶圆定心机构和晶圆清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610520880.82026-04-20CN122206226A2026-06-12贾洪杰、刘婷婷、王鹏
2晶圆加工装置、晶圆减薄设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610416799.52026-04-01CN121946307A2026-05-01王同庆、赵德文、刘远航、靳凯强、周鹏飞
3一种激光划片机、过滤除尘系统及控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610395417.52026-03-27CN121928218A2026-04-28刘远航、何旺、鲍伟成、赵德文、路新春
4一种晶圆磨削组件、晶圆减薄装置及减薄方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610385517.X2026-03-27CN121928427A2026-04-28靳凯强、刘远航、黄威、王同庆、赵德文
5晶圆加工装置、供液组件及晶圆加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610353247.42026-03-23CN121925072A2026-04-24张美美、徐俊成、王鹏、卢潇潇
6晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备发明专利授权CN202610320010.62026-03-17CN121893176B2026-05-26郑烨、刘杰、王春龙
7一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610115453.12026-01-28CN121925091A2026-04-24徐俊成、刘福生、刘效岩
8晶圆加工系统、方法、电子设备及计算机介质发明专利授权CN202610083655.22026-01-22CN121572172B2026-04-28王超、田芳馨、窦华成
9晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质发明专利授权CN202610083727.32026-01-22CN121552242B2026-05-15田云、辜声攀、张标、吕嘉峰
10电涡流检测方法、终点检测系统、化学机械抛光设备发明专利公布CN202610666018.82026-01-22CN122231752A2026-06-19王超、田芳馨、窦华成
11膜厚测量装置及方法、化学机械抛光设备发明专利公布CN202610666019.22026-01-22CN122253076A2026-06-23王超、田芳馨、窦华成
12抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610019802.X2026-01-08CN121468390A2026-02-06王同庆、窦华成、刘志、田芳馨
13基板处理装置、清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511999350.82025-12-29CN121419596A2026-01-27徐俊成、刘福生
14一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置发明专利公布CN202511885779.42025-12-15CN121843481A2026-04-10刘婷婷、贾洪杰、王鹏、徐俊成、王延华
15一种晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833144.X2025-12-08CN121693028A2026-03-17张国伟、徐俊成、王鹏、卢潇潇
16一种晶圆夹持机构、晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833145.42025-12-08CN121843480A2026-04-10张江勇、徐俊成
17晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春
18一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文
19磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510679798.52025-05-26CN120206405B2025-08-19沈午祺、李森、刘远航
20磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511307082.92025-05-26CN121083522A2025-12-09沈午祺、李森、刘远航
21化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647339.92025-05-20CN120170631B2025-08-19路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
22化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268736.12025-05-20CN120941269A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
23化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268735.72025-05-20CN120941268A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
24化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510632674.12025-05-16CN120134207B2025-08-19李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科
25化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511214277.92025-05-16CN120862551A2025-10-31李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科
26竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510489702.92025-04-18CN120221468A2025-06-27李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
27竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510489709.02025-04-18CN120033122B2025-08-19李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
28竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利公布CN202511178930.02025-04-18CN121035009A2025-11-28李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
29一种晶圆清洗系统和清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510467827.12025-04-15CN120072714A2025-05-30刘福生、徐俊成、刘效岩
30边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428498.X2025-04-08CN119927758B2025-06-13赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成
31接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428497.52025-04-08CN119952610B2025-07-15路新春、赵德文、马帅、陈超
32边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510962400.92025-04-08CN120791590A2025-10-17赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成
33接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利公布CN202511067640.92025-04-08CN120985536A2025-11-21路新春、赵德文、马帅、陈超
34晶圆清洗方法、装置和设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510360459.02025-03-26CN119870026B2025-07-15刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏
35晶圆清洗方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510745594.72025-03-26CN120618927A2025-09-12刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏
36一种晶圆清洗装置和处理设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510349141.22025-03-24CN120089624A2025-06-03刘丰迪、徐俊成、王延华、杨雪梅
37装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510162295.02025-02-14CN119650481B2025-06-17路新春、赵德文、韩晓铠、马旭
38装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510932949.32025-02-14CN120933197A2025-11-11路新春、赵德文、韩晓铠、马旭
39一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510081400.82025-01-20CN119542205B2025-05-13张美美、王延华、徐俊成
40一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510428606.32025-01-20CN120319688A2025-07-15张美美、王延华、徐俊成
41晶圆清洗装置、系统、方法和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411976834.62024-12-31CN119852209A2025-04-18杨雪梅、刘福生、刘丰迪
42一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411976837.X2024-12-31CN119864313A2025-04-22王鹏、王延华、徐俊成、刘丰迪
43一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411918399.12024-12-25CN119361523B2025-04-15张美美、徐俊成、郭鹏
44一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510365484.82024-12-25CN120199723A2025-06-24张美美、徐俊成、郭鹏
45夹持机构以及晶圆清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411900765.02024-12-23CN119480775A2025-02-18张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东
46夹持机构以及晶圆清洗装置实用新型授权CN202423175212.12024-12-23CN223612410U2025-11-28张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东
47压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411879327.02024-12-19CN119495610A2025-02-21李小娟、赵德文、付永旭、靳凯强、刘远航
48晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411879330.22024-12-19CN119748319A2025-04-04许刚、马旭、靳凯强、刘远航、赵德文
49防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备发明专利授权CN202411879312.42024-12-19CN119734161B2025-11-21李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春
50防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511845874.12024-12-19CN121893161A2026-04-21李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春

华海清科成立于2013年4月10日,于2022年6月8日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为天津市。它是国内化学机械抛光设备龙头企业,核心产品CMP设备打破国外垄断,技术领先。

华海清科主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,概念板块涵盖高校系、基金重仓、中盘股。

2025年,华海清科实现营业收入46.48亿元,在25家同行中排名第7,虽远低于北方华创的393.53亿元和中微公司的123.85亿元,但高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元。其主营业务中,半导体装备收入40.54亿元,占比87.22%;半导体服务收入5.94亿元,占比12.78%。净利润方面,2025年达10.83亿元,行业排名第5,与北方华创的54.09亿元、中微公司的20.64亿元有差距,但高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种晶圆抛光方法、抛光单元和抛光系统发明专利公布CN202610705158.12026-05-21CN122248984A2026-06-19田云、辜声攀、杜新祥、马海港
2一种抛光带与晶圆缺口相对位置的检测装置和检测方法发明专利公布CN202610546525.82026-04-23CN122099962A2026-05-29周朝龙、辛宇航、郭垒、杨志冰
3晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵
4抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610366890.02026-03-24CN122033825A2026-05-15张力飞、王同庆、赵南皓
5晶圆加工系统、终点检测装置、方法及电子设备发明专利公布CN202610348698.92026-03-20CN122253080A2026-06-23王同庆、王科、窦华成、田芳馨
6晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利授权CN202610230602.92026-02-27CN121752004B2026-05-15王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤
7化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610211064.92026-02-13CN122077513A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
8晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文
9化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
10化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
11晶圆处理装置、控制方法及化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198513.02026-02-11CN122077512A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
12一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科
13晶圆化学机械抛光设备及基于晶圆状态的动态密封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188204.52026-02-10CN122058269A2026-05-19张海鹏、曹冠宁、范少文、王科、孙传恽、李长坤
14一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑
15一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤
16抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
17抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
18晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成
19晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮
20晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春
21晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节
22一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟
23一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛
24一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰
25一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏
26一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐
27一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤
28一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤
29晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春
30一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟
31一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科
32抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
33抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
34一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军
35一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤
36一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
37一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
38一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
39晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科
40竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙
41一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤
42一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文
43一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科
44卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒
45用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨
46一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
47一种晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510914728.32025-07-03CN120715797A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
48一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤
49一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤
50一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备发明专利公布CN202510757567.12025-06-09CN120674375A2025-09-19孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤

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