卓海科技取得薄膜检测装置相关专利,薄膜应力检测装置简化校准、减小误差、扩范围
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2026-02-04 10:15:19

2月4日消息,国家知识产权局信息显示,无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种薄膜应力检测装置及系统”的专利,授权公告号CN223870219U,授权公告日为2026年2月3日。申请号为CN202520607337.2,申请公布日期为2026年2月3日,申请日期为2025年4月2日,发明人周擎天、相宇阳、俞胜武,专利代理机构北京品源专利代理有限公司,专利代理师崔佃银,分类号G01L1/24。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种薄膜应力检测装置及系统,包括检测模块、扫描模块和处理模块;检测模块包括激光单元、可调衰减单元和检测单元;检测模块与扫描模块固定连接,扫描模块和检测单元均与处理模块电连接;扫描模块带动检测模块沿第一方向位移以扫描待测薄膜,并获取检测模块的位移数据;激光单元出射的检测激光通过可调衰减单元后入射至待测薄膜的表面,并经待测薄膜的表面反射后入射至检测单元,检测单元获取检测激光在不同位置处入射至待测薄膜的光斑运动数据;处理模块根据位移数据和光斑运动数据计算待测薄膜的应力。本实用新型提供的应力检测装置不仅简化校准流程,减小测量误差,而且还可以检测更大反射率范围的材料。

天眼查数据显示,无锡卓海科技股份有限公司成立日期2009年6月3日,法定代表人相宇阳,所属行业为专用设备制造业,企业规模为小型,注册资本7168.6725万人民币,实缴资本6206.7万人民币,注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目103次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息184条,拥有行政许可40个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种薄膜厚度测量装置及方法发明专利公布CN202511758712.42025-11-27CN121383875A2026-01-23李响、相宇阳、俞胜武
2一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511682299.82025-11-17CN121276421A2026-01-06刘娜、相宇阳、俞胜武
3一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511640112.82025-11-11CN121090560A2025-12-09阿民、相宇阳、俞胜武
4晶圆几何形貌测量方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202511566630.X2025-10-30CN121437603A2026-01-30华沁怡、相宇阳、俞胜武
5一种信号采集电路及信号采集装置发明专利公布CN202511566088.82025-10-30CN121441309A2026-01-30王文超、相宇阳、耿晓杨
6一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511398856.32025-09-28CN121164314A2025-12-19阿民、相宇阳、俞胜武
7一种缺陷检测设备和晶圆位置定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511361836.92025-09-23CN121114049A2025-12-12刘娜、相宇阳、俞胜武
8一种薄膜厚度的检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511301975.22025-09-12CN121163387A2025-12-19华沁怡、相宇阳、俞胜武
9一种设备通信方法、设备、通信系统、介质及产品发明专利公布CN202511205312.02025-08-27CN120768714A2025-10-10陈明习、相宇阳、俞胜武
10一种颗粒晶圆制备设备及方法发明专利公布CN202511201255.92025-08-26CN120992288A2025-11-21陈剑、相宇阳、俞胜武
11一种测量方法发明专利授权、公布CN202511141034.72025-08-15CN120627924B2025-10-24葛正、相宇阳、俞胜武
12一种薄膜微型特征的测量装置及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511132462.32025-08-13CN121141585A2025-12-16徐晨瑜、相宇阳、俞胜武
13一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法发明专利授权、公布CN202511046316.92025-07-29CN120558101B2025-10-17胡杨、相宇阳、俞胜武
14测量点位的确定方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510957615.12025-07-11CN120565439A2025-08-29戴丹蕾、相宇阳、俞胜武
15一种晶圆表面检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510957017.42025-07-11CN120854330A2025-10-28陈剑、相宇阳、俞胜武
16一种晶圆检测系统和晶圆检测方法发明专利公布CN202510869327.02025-06-26CN120668679A2025-09-19郭庆丰、相宇阳、俞胜武
17一种半导体控制器测试系统及测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510804491.32025-06-17CN120315429A2025-07-15王子颖、相宇阳、陈学文
18一种传输设备的运动模拟装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510656068.32025-05-21CN120254459A2025-07-04耿晓杨、相宇阳、戴金方
19一种电子枪保护装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510602767.X2025-05-12CN120433124A2025-08-05耿晓杨、相宇阳、戴金方
20一种晶圆的寻边装置及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510546234.42025-04-28CN120356860A2025-07-22周擎天、相宇阳、俞胜武
21一种晶圆缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510544242.52025-04-28CN120473402A2025-08-12王世俊、相宇阳、俞胜武
22一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备发明专利公布CN202510471399.X2025-04-15CN120300049A2025-07-11俞天皓、相宇阳、俞胜武
23一种晶圆的缺陷检测装置及方法发明专利授权CN202510438634.32025-04-09CN120160984B2025-11-18陈烨伟、相宇阳、俞胜武
24一种光电倍增管的校准装置和校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510407147.02025-04-02CN120232515A2025-07-01阿民、相宇阳、俞胜武
25一种薄膜应力检测装置及系统实用新型授权CN202520607337.22025-04-02CN223870219U2026-02-03周擎天、相宇阳、俞胜武
26一种电子元器件替换型号确定方法、设备及产品发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510377524.02025-03-28CN119890101B2025-06-17周楠、相宇阳、戴金方
27一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520564813.72025-03-28CN223856393U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑
28一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520585293.82025-03-28CN223856394U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑
29兼容型开放式晶圆盒装载装置发明专利授权、公布CN202510312325.12025-03-17CN119905440B2025-11-07魏坤、相宇阳、俞胜武
30一种台阶仪载台调平装置及台阶仪实用新型授权CN202520446660.62025-03-14CN223677455U2025-12-16魏坤、相宇阳、俞胜武
31探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪实用新型授权CN202520314021.42025-02-26CN223611577U2025-11-28王焕、相宇阳、俞胜武
32一种晶圆装载设备调试系统及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411995075.82024-12-31CN119861694A2025-04-22陈学文、相宇阳、戴金方
33一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武
34一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武
35一种适用晶圆缺陷检测的回转装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411619161.92024-11-13CN119310004A2025-01-14刘明东、相宇阳、俞胜武
36一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武
37一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武
38基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武
39基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武
40一种台阶仪系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411562892.42024-11-05CN119063680A2024-12-03陈烨伟、相宇阳、俞胜武
41一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411544559.02024-10-31CN119493938A2025-02-21林晓坤、相宇阳、俞胜武
42一种镜片安装装置实用新型授权CN202422642052.02024-10-30CN223297201U2025-09-02高强、相宇阳、陈剑
43一种激光耦合装置及激光器实用新型授权CN202422579307.32024-10-24CN223180476U2025-08-01王海龙、相宇阳、陈剑
44显微成像系统实用新型授权CN202422579309.22024-10-24CN223216850U2025-08-12徐晨瑜、相宇阳、俞胜武
45一种激光器指向性测试结构实用新型授权CN202422561184.02024-10-22CN223217064U2025-08-12王海龙、相宇阳、陈剑
46一种紫外激光器实用新型授权CN202422547061.12024-10-22CN223218634U2025-08-12高庆港、相宇阳、陈剑
47翘曲片抓取用机械手臂实用新型授权CN202422559837.12024-10-22CN223326389U2025-09-12王远秀、相宇阳、俞胜武
48薄膜厚度的测量方法和装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411463815.32024-10-21CN118999377B2025-03-07戴丹蕾、相宇阳、俞胜武
49一种电子枪的预检系统及预检方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411443073.82024-10-16CN119361403B2025-10-14耿晓杨、相宇阳、戴金方
50一种激光器的校准系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411443060.02024-10-16CN119362129A2025-01-24高强、相宇阳、陈剑

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