数据显示，9月1日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购1.16亿元，位居当日股票ETF净流入排名24/1311。最新规模90.6亿元，前一日规模92.92亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.25%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回249.2万元，位居股票ETF净流出排名第553/1311。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购6.84亿元，位居股票ETF净流入排名第19/1311。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购8.62亿元，位居股票ETF净流入排名第12/1311。

华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)已连续3日资金获净申购，区间净流入额1.72亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止9月1日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为91.94亿份，最新规模为90.6亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加1777.62%，规模增加1044.64%。

流动性方面，截止9月1日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额121.02亿元，日均成交金额6.05亿元；今年以来，161个交易日，累计成交金额693.5亿元，日均成交金额4.31亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益224.25%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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