(来源:北京电控 北京电控)
8月28日,国家知识产权局公布第二十六届中国专利奖授奖决定,北京电控所属北方华创的专利《射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备》荣获“中国专利金奖”,成为本届唯一获金奖的半导体设备企业。
该专利技术能够快速扫频至与目标扫频参数相匹配,有效保证脉冲等离子体顺利点火,显著提高匹配性能。通过减小射频电源的反射功率,使输出的射频功率尽可能加载至负载端,从而降低功耗、提高匹配效率、拓宽应用窗口,完美契合客户先进刻蚀工艺的严苛需求。这一专利打破了进口设备在该领域的长期垄断,为国产集成电路设备向先进制程迈进打开了关键突破口。
中国专利金奖是我国知识产权领域的最高荣誉,由国家知识产权局与世界知识产权组织联合评选,每年金奖不超过30项。至此,北京电控累计斩获中国专利金奖3项——京东方2项,北方华创1项。
此次获奖,是北方华创长期以知识产权为利刃、护航技术突围的有力印证。近年来,在全球半导体产业链深度重构的背景下,北方华创将知识产权深度嵌入研发、生产与全球经营全链条,构建起立体防护网。截至最新年报,北方华创累计申请专利超11300项,其中发明专利占比超80%;授权超6500项,授权率持续保持在80%以上;海外专利占比超20%,覆盖欧、美、日、韩等关键区域,为拓展全球版图构筑了坚实的法律屏障。在管理机制上,将知识产权全面融入集成产品开发(IPD)体系,在各业务部门设立知识产权业务伙伴(IPBP)岗位,将知识产权服务直接输送到业务最前端,实现了从立项、研发到上市的全流程护航。
未来,北京电控及所属企业将继续秉持“引领科技创新、成就美好未来”的使命,持续深耕关键技术创新,加速专利成果产业化,让更多“金奖级”原创成果从实验室走向生产线,在关键赛道锻造不可替代的竞争优势。
供稿
北方华创集团,北京电控融媒体中心