8月16日消息,国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种垂直式电镀槽内流场稳定板”的专利,授权公告号CN116876061B,授权公告日为2026年8月14日。申请公布号为CN116876061A,申请号为CN202310842578.0,申请公布日期为2026年8月14日,申请日期为2023年7月11日,发明人洪俊雄、刘子申,专利代理机构上海专利商标事务所有限公司,专利代理师骆希聪,分类号C25D17/00、C25D21/10、C25D5/08。
专利摘要显示,本发明涉及电镀技术领域,且公开了一种垂直式电镀槽内流场稳定板,包括电镀外槽体、消波装置,所述消波装置包括电镀内槽体、消波板、摇摆叶片和摇摆支架,所述电镀外槽体的内侧壁固定连接有电镀内槽体,所述电镀内槽体的内侧插接有消波板,所述消波板与电镀内槽体内侧壁之间存在缓冲空间,所述消波板上设置有间隔式的锥形凸块,两个所述锥形凸块之间开设有开口窗口。该垂直式电镀槽内流场稳定板,通过消波板,实现了在摇摆叶片进行运动来回运动产生横向流场时,利用板上的锥形凸块破坏流向槽壁的流体,被破坏的流体再由锥形凸块彼此间的方形窗口流向槽壁后,最后撞击槽壁,维持流场稳定的目的,达到了电镀均匀,电镀效果佳的效果。
天眼查数据显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立日期2005年5月17日,法定代表人HUI WANG,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本48259.6689万人民币,实缴资本48259.6689万人民币,注册地址为中国(上海)自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目185次,财产线索方面有商标信息65条,专利信息751条,拥有行政许可32个。
盛美半导体设备(上海)股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610875033.3 | 2026-06-17 | CN122446313A | 2026-07-24 | 杨宏超、花宇、金一诺、王坚 |
| 2 | 基板处理方法及基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610876815.9 | 2026-06-17 | CN122476857A | 2026-07-28 | 石宁、张晓燕、王文军、郜远鹏、徐磊 |
| 3 | 半导体工艺腔及沉积工艺装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610420144.5 | 2026-04-01 | CN122428258A | 2026-07-21 | 张侣倛、陈守俊、贾社娜 |
| 4 | 薄膜沉积装置及沉积方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610011040.9 | 2026-01-06 | CN122039027A | 2026-05-15 | 朱志君、赵伟、纪海远 |
| 5 | 检测工装、射频特性检测装置及等离子体装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610001596.X | 2026-01-04 | CN122063350A | 2026-05-19 | 罗雁燊、陈更明、成康、朱志君、张山 |
| 6 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062B | 2026-08-04 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 7 | 一种传感器校准装置及基板清洗机 | 发明专利 | 公布 | CN202511565215.2 | 2025-10-30 | CN121540106A | 2026-02-17 | 陈远、赵运翔、何西登 |
| 8 | 基板处理装置 | 发明专利 | 授权 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605B | 2026-04-17 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 9 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 10 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230B | 2026-01-27 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 11 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 12 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 13 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 14 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 15 | 密封件 | 外观专利 | 授权 | CN202530280752.7 | 2025-05-19 | CN309744402S | 2026-01-23 | 付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民 |
| 16 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 17 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 18 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 19 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 20 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 21 | 电镀装置及电镀设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510125703.5 | 2025-01-26 | CN122484885A | 2026-07-31 | 王坚、贾照伟、杨宏超、朱志军、汪若飞、代兰奎、王尊宇、刘根、王其强 |
| 22 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 23 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 24 | 蒸发组件、储液槽和蒸发组件的设计方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510046661.6 | 2025-01-10 | CN122351844A | 2026-07-10 | 麻卉港、郭明山、吴均、杨宏超 |
| 25 | 基板夹具及基板夹持方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510046668.8 | 2025-01-10 | CN122358296A | 2026-07-10 | 王坚、贾照伟、杨宏超 |
| 26 | 基板处理装置及包含其的基板处理系统 | 发明专利 | 公布 | CN202510046652.7 | 2025-01-10 | CN122396242A | 2026-07-14 | 王博、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 27 | 基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202510040003.6 | 2025-01-09 | CN122373717A | 2026-07-10 | 金一诺、郭明浩、石轶、陈浩天 |
| 28 | 炉管设备及基片预热方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510041754.X | 2025-01-09 | CN122384492A | 2026-07-14 | 蒋攀辉、周冬成、蒯蔚 |
| 29 | 用于晶圆处理装置的调节设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510032943.0 | 2025-01-08 | CN122358168A | 2026-07-10 | 戴明宇、贾社娜、朱志军、贺斌、费红财、田连刚、李天天、金京俊 |
| 30 | 基板清洗装置及清洗方法、基板清洗系统 | 发明专利 | 公布 | CN202510027212.7 | 2025-01-07 | CN122345954A | 2026-07-07 | 朱国辉、孙建 |
| 31 | 反应腔结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510027815.7 | 2025-01-07 | CN122344717A | 2026-07-07 | 成康、张侣倛、周培垄、金京俊 |
| 32 | 喷淋头 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510013814.7 | 2025-01-03 | CN122327194A | 2026-07-03 | 戴明宇、朱志君、贺斌、费红财、田连刚、程景丽、金京俊 |
| 33 | 喷淋头 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510013820.2 | 2025-01-03 | CN122327195A | 2026-07-03 | 戴明宇、朱志君、贺斌、费红财、田连刚、程景丽、金京俊 |
| 34 | RF连接器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510013836.3 | 2025-01-03 | CN122338464A | 2026-07-03 | 戴明宇、朱志君、贺斌、费红财、田连刚、程景丽、金京俊 |
| 35 | 化学液供应设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510013830.6 | 2025-01-03 | CN122373716A | 2026-07-10 | 刘成柱、胡海波、冯凯、李兴 |
| 36 | 清洗设备及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510007233.2 | 2025-01-02 | CN122341097A | 2026-07-03 | 麻森朋、杨宏超 |
| 37 | 晶圆处理方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202510010070.3 | 2025-01-02 | CN122341090A | 2026-07-03 | 殷永飞、张晓燕、初振明、程龙跃、范心海、张忠龙 |
| 38 | 晶圆对中方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510007202.7 | 2025-01-02 | CN122341140A | 2026-07-03 | 贾福金、王文军、张晓燕 |
| 39 | 半导体设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411934078.0 | 2024-12-25 | CN122318761A | 2026-06-30 | 张忠龙、初振明、张晓燕 |
| 40 | 基板处理设备及基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411917716.8 | 2024-12-23 | CN122294862A | 2026-06-26 | 徐文华、刘阳、胡海波、张晓燕 |
| 41 | 用于晶圆CMP后清洗的喷头固件及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411853646.4 | 2024-12-13 | CN122248988A | 2026-06-19 | 王银、周飞、蒋寅魁、张佳妮、仰庶、张晓燕 |
| 42 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411835091.0 | 2024-12-12 | CN122189807A | 2026-06-12 | 任正博、金一诺、石轶、贺宇、左经之 |
| 43 | 翻转装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411835174.X | 2024-12-12 | CN122227915A | 2026-06-16 | 李德鑫、李承熙、沈旻燮、焦欣欣、张少帅、王俊、吴均 |
| 44 | 基板涂覆设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411824707.4 | 2024-12-11 | CN122194571A | 2026-06-12 | 吴均、杨仁政、程成、徐飞、吴雷 |
| 45 | 面板金属沉积及减薄设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411814873.6 | 2024-12-10 | CN122189813A | 2026-06-12 | 金一诺、杨宏超、王坚 |
| 46 | 基板电镀装置、电镀设备及基板电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411806689.7 | 2024-12-09 | CN122169189A | 2026-06-09 | 朱志君、王坚 |
| 47 | 基片处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411806716.0 | 2024-12-09 | CN122206198A | 2026-06-12 | 李昱、王文军、张晓燕 |
| 48 | 晶圆刻蚀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411796919.6 | 2024-12-06 | CN122206188A | 2026-06-12 | 陈子山、程龙跃、初振明、张晓燕 |
| 49 | 方形基板处理方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411777413.0 | 2024-12-04 | CN122161398A | 2026-06-05 | 吴勐、王坚、贾照伟、金一诺 |
| 50 | 泄漏检测系统及清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411766935.0 | 2024-12-03 | CN122142013A | 2026-06-05 | 路添竣、邓新平 |
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文由AI大模型基于公开信息生成,不代表Hehson财经观点。文中所有信息、数据及图表仅供参考,不构成任何形式的投资建议或决策依据,相关信息以实际公告为准。如有疑问,请联系:biz@staff.sina.com.cn。