机构指出：本轮半导体设备的迎来历史性机遇，主要有4点优势：

1、设备格局优质，行业竞争格局极佳，各细分环节仅留存1-2家头部公司，行业竞争格局高度集中、确定性极强。

2、 存储双赛道扩产节奏加速，今明两年行业订单将实现100%高速增长，开启扩产超级周期。

3、国产化进程持续提速，目前核心的薄膜、刻蚀设备国产化率正在快速攀升，为行业订单高增长提供第二重核心保障。

4、海外设备产能持续紧张，国产设备出海窗口期正式打开，以海力士为代表的海外晶圆代工厂，已主动与国产设备公司对接采购事宜，这是当前行业最大的预期差。

中信证券研报称，受益于下游大客户积极的资本开支指引以及扩产计划，半导体设备需求有望维持强劲。预计2026年/2027年全球晶圆制造设备（WFE）市场规模将分别同比增长26%/35%至1,478/1,995亿美元，其中下游存储占比进一步提升。考虑到设备产能逐步释放以及新产品迭代，半导体设备厂商议价权或有所提升。结合下游市场需求、竞争格局、设备支出强度、公司业绩以及估值情况，建议关注相关标的。

截至2026年6月22日 14:03，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.19%，成分股欧莱新材上涨15.29%，晶升股份上涨12.88%，华峰测控上涨10.37%，金宏气体，天岳先进等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.07%， 冲击5连涨。最新价报2.57元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。