安集科技申请氧化铈抛光液相关专利，联用方法反转氧化铈电荷提升抛光速率
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2026-06-13 09:28:31

6月13日消息，国家知识产权局信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种反转负电荷氧化铈研磨颗粒的方法及一种化学机械抛光液”的专利。申请公布号为CN122188529A，申请号为CN202411827136.X，申请公布日期为2026年6月12日，申请日期为2024年12月12日，发明人许晓佳、李守田、陈寅斌、张乐澜，专利代理机构上海市建纬律师事务所，专利代理师李佳铭、王芳，分类号C09G1/02、C09K3/14。

专利摘要显示，本发明采用聚季铵盐与小分子季铵化合物联用的方法对负电荷氧化铈颗粒进行电荷反转，能够有效提升TEOS和Si共平面的pattern上的抛光速率，达到该方法对溶胶型和煅烧法氧化铈颗粒均适用。

天眼查数据显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司成立日期2006年2月7日，法定代表人SHUMIN WANG，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为中型，注册资本16855.4258万人民币，实缴资本17499.4396万人民币，注册地址为上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层。安集微电子科技（上海）股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息254条，拥有行政许可111个。

安集微电子科技（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种带盖量杯实用新型授权CN202423295797.02024-12-31CN223818695U2026-01-23顾灵华、卢春林、朱正兵、陆伟权、门星蕊
2一种反转负电荷氧化铈研磨颗粒的方法及一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411827136.X2024-12-12CN122188529A2026-06-12许晓佳、李守田、陈寅斌、张乐澜
3一种金属电镀组合物发明专利公布CN202411791180.X2024-12-06CN122169174A2026-06-09程政、彭洪修、陈艳、郑超杰、孟迪
4一种清洗组合物发明专利公布CN202411635496.X2024-11-15CN122038058A2026-05-15许晓佳、李守田、陈寅斌、张乐澜
5一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411399313.92024-10-30CN121950186A2026-05-01李星、王晨、何华锋、李全干、付世龙、钱尼星
6一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411399179.22024-10-09CN121825414A2026-04-10谭明月、王嵩、史经深、吴涛、周凯瑞、顾钦源、殷楠、刘资源、王晨
7一种低温合成α-氧化铝纳米颗粒的方法、一种α-氧化铝纳米颗粒及其用途发明专利公布CN202411362423.82024-09-27CN121735286A2026-03-27崔天露、尹先升、李金波、周振奇
8一种制备氢氧化铈分散液的方法及氢氧化铈颗粒分散液发明专利公布CN202411361561.42024-09-27CN121736631A2026-03-27吴亚男、王惠文、徐鹏宇、陈寅斌、李守田
9一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411361889.62024-09-27CN121736632A2026-03-27安可宾、李守田、王兴平、陈寅斌、牛婷婷
10一种拧盖机器人发明专利公布CN202311842442.62023-12-29CN120269543A2025-07-08栗冬、徐正杰
11一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311840457.92023-12-29CN120272122A2025-07-08李昀、马健、荆建芬、李瑾琳、郑闪闪、王曦、魏佳、宋凯、杨征、杨俊雅
12一种化学机械抛光液及其使用方法发明专利公布CN202311838809.72023-12-28CN120272119A2025-07-08李昀、荆建芬、马健、郑闪闪、王曦、李瑾琳、魏佳、杨俊雅、周文婷、姚颖
13一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311833202.X2023-12-28CN120272117A2025-07-08姚颖、荆建芬、邱欢、汪国豪、陆弘毅、蔡鑫元、朱一明、周文婷、王拓、蒋文玉
14一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311831485.42023-12-28CN120272115A2025-07-08姚颖、邱欢、荆建芬、陆弘毅、汪国豪、宋凯、唐浩杰、马健、张然、覃小龙
15一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311839036.42023-12-28CN120272121A2025-07-08刘天奇、周文婷、荆建芬、蔡鑫元、王苗苗、王正、姚颖、唐浩杰、王拓、张然
16一种蚀刻残留物去除组合物发明专利公布CN202311830979.02023-12-28CN120272281A2025-07-08张文贝、刘兵、彭洪修、郭辛煊
17一种化学机械抛光液及用途发明专利公布CN202311832368.X2023-12-28CN120272116A2025-07-08周文婷、荆建芬、刘天奇、姚颖、宋凯、王苗苗、蔡鑫元、杨征、王乐、陆弘毅
18一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311838988.42023-12-28CN120272120A2025-07-08刘天奇、荆建芬、周文婷、王苗苗、罗威、蔡鑫元、马健、宋凯、李昀、王乐
19一种金属电镀组合物及其使用方法发明专利公布CN202311838900.92023-12-28CN120272998A2025-07-08孙鹏、彭洪修、沈梦涵
20一种微型可调混液装置及一种对碱性抛光液抛光铜后产生的铜绿清洗的工艺方法发明专利公布CN202311833069.82023-12-28CN120268294A2025-07-08徐彦廷、杜铭宇、钱宁开
21一种化学机械抛光液及其使用方法发明专利公布CN202311838702.22023-12-28CN120272118A2025-07-08马健、李昀、荆建芬、王曦、李瑾琳、郑闪闪、魏佳、邱欢、杨俊雅、任飞
22一种金属电镀组合物及使用方法发明专利公布CN202311838876.92023-12-28CN121344697A2026-01-16孙鹏、彭洪修、沈梦涵
23一种由金属离子修饰的研磨颗粒的制备方法及一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311801859.82023-12-26CN120248830A2025-07-04王淑超、王桢炜、杨越海、王晨
24一种α-氧化铝纳米颗粒的合成方法、一种α-氧化铝纳米颗粒及其用途发明专利公布CN202311801315.12023-12-26CN120247069A2025-07-04崔天露、尹先升、李金波、周振奇
25一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311783855.12023-12-22CN120230479A2025-07-01李星、王晨、何华锋、李全干、钱尼星、付世龙
26一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311775894.72023-12-22CN120230475A2025-07-01陈寅斌、徐鹏宇、许晓佳、李守田
27一种化学机械抛光组合物发明专利公布CN202311775789.32023-12-22CN120230474A2025-07-01王嵩、谭明月、孙沉敏、孙金涛、吴涛、顾钦源、殷楠、王晨
28一种用于提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311783362.82023-12-22CN120230477A2025-07-01陈寅斌、徐鹏宇、许晓佳、李守田
29一种化学机械抛光组合物发明专利公布CN202311775202.92023-12-22CN120230473A2025-07-01谭明月、王嵩、孙沉敏、孙金涛、史经深、赵有钱、周凯瑞、王晨
30一种用于大马士革铜互连的电镀液及其电镀工艺发明专利公布CN202311774410.72023-12-22CN120231107A2025-07-01陈艳、孟迪、彭洪修
31一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311775974.22023-12-22CN120230476A2025-07-01李全干、何华锋、王晨、李星、付世龙、钱尼星、吴鹏、郁夏盈
32一种用于蚀刻后残留物去除的组合物发明专利公布CN202311697275.02023-12-12CN120173682A2025-06-20夏德勇、刘兵、刘玉凤
33一种化学机械抛光组合物发明专利公布CN202311607855.62023-11-29CN120098552A2025-06-06许晓佳、李守田、王兴平、蔡润迪
34一种化学机械抛光组合物发明专利公布CN202311607649.52023-11-29CN120098551A2025-06-06许晓佳、李守田、王兴平、陈寅斌
35一种蚀刻组合物及其用途发明专利公布CN202311375008.12023-10-23CN119913513A2025-05-02程章、吴兵、刘兵、彭洪修
36一种蚀刻残留物去除剂组合物发明专利公布CN202310912363.12023-07-25CN119414678A2025-02-11程章、彭洪修、刘兵、吴兵
37一种用于抛光铝的化学机械抛光液及一种将麦芽酚用于抛光铝中的用途发明专利实质审查的生效、公布CN202310585820.02023-05-23CN119061402A2024-12-03李守田、徐鹏宇
38一种α-Al2O3的合成方法、一种α-Al2O3及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211728697.52022-12-30CN118270814A2024-07-02尹先升、丁梦
39一种氧化铈合成方法、一种氧化铈及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211718840.22022-12-30CN118270824A2024-07-02杨磊、尹先升、王振新
40一种蚀刻组合物及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211718829.62022-12-30CN118272091A2024-07-02张文贝、刘兵、彭洪修
41一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211711994.92022-12-30CN118271971A2024-07-02殷天亮、郁夏盈、林海峰
42一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211703236.22022-12-29CN118271969A2024-07-02李昀、荆建芬、马健、宋凯、姚颖、杨俊雅、李瑾琳、周靖宇、刘天奇、汪国豪、周文婷
43一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211703225.42022-12-29CN118271968A2024-07-02马健、荆建芬、杨俊雅、王曦、郑闪闪、蔡鑫元、唐浩杰、周靖宇、张然、魏佳、陆弘毅
44一种用于化学抛光系统的混液装置及一种化学抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202211718709.62022-12-29CN118267892A2024-07-02杜铭宇、徐彦廷、韩全宝、温雨欣、张开元
45一种氧化铈合成方法、一种氧化铈及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211718700.52022-12-29CN118270823A2024-07-02尹先升、刘同君、李节
46一种硅基无机酸酯的制备方法、一种硅基无机酸酯及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211718695.82022-12-29CN118271359A2024-07-02夏德勇、刘兵、陈艳、王志豪、温启蒙
47一种氧化铈合成方法、一种氧化铈及其用途发明专利实质审查的生效、公布CN202211718694.32022-12-29CN118270822A2024-07-02尹先升、刘同君、李节
48一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211711773.12022-12-29CN118271970A2024-07-02郑闪闪、李昀、荆建芬、马健、杨俊雅、李瑾琳、周文婷、周靖宇、王曦、刘天奇、王苗苗、王正
49一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211698530.92022-12-28CN118256156A2024-06-28彭芸、王淑超、王桢炜、杨越海、李星、郁夏盈、王晨
50一种化学机械抛光液发明专利实质审查的生效、公布CN202211698520.52022-12-28CN118256155A2024-06-28郁夏盈、郎鹏飞、董泽同、罗振宇

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