6月13日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种均匀涂胶的装置和方法”的专利。申请公布号为CN122194572A，申请号为CN202610358426.7，申请公布日期为2026年6月12日，申请日期为2026年3月23日，发明人孙洪君、孙鹏、陈建，专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师黄海霞、芦宁宁，分类号G03F7/16、B08B3/02。

专利摘要显示，本发明涉及掩膜版制造领域，具体为一种均匀涂胶的装置和方法，所述装置包括承载部件，承载部件包括用于承载掩膜版的承载台及驱动承载台旋转与升降的驱动机构；承载台为圆形且中部设置有矩形的凹陷区，承载台设置有将承载台圆周分隔的四个开口，各开口与凹陷区的四角一一对应且与凹陷区内连通以形成引流通道。本申请采用设置方形凹陷区的圆形承载台，通过承载台将方形掩膜版的上表面补偿为圆形，避免喷涂时光刻胶在掩膜版的直角处产生边缘堆积；并且凹陷区的四角处设置的开口所形成引流通道能够改变掩膜版上部的风流方向，使得光刻胶在风流的带动下沿着对角线方向流动至方形掩膜版的边角，有效解决方形掩膜版边缘涂胶不均的问题。

芯源微成立于2002年12月17日，于2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备领域的重要企业，核心产品半导体专用设备技术领先，具备一定技术壁垒。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，所属概念板块包括光刻机、专精特新、光刻胶。

2025年，芯源微实现营业收入19.48亿元，在25家同行业公司中排名第12，与行业第一名北方华创的393.53亿元、第二名中微公司的123.85亿元差距较大，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。其主营业务中，电子工艺装备收入18.79亿元，占比96.42%；产品备件收入4762.91万元，占比2.44%；其他(补充)收入2216.11万元，占比1.14%。净利润方面，2025年为7068.2万元，在同行业25家公司中排名第18，远低于第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

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