5月8日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“卷径检测组件及基板研磨装置”的专利，授权公告号CN119681777B，授权公告日为2026年5月1日。申请公布号为CN119681777A，申请号为CN202411922054.3，申请公布日期为2026年5月1日，申请日期为2024年12月25日，发明人田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒，分类号B24B37/00、B24B9/06、B24B49/00、B24B37/27。

专利摘要显示，本发明涉及半导体基板研磨技术领域。本发明的一个实施例提供了一种卷带卷径检测组件，用于实时地检测卷带的卷径。其包括摆动件，所述摆动件摆动地设置在所述卷带的一侧；压部，设置在所述摆动件上，用于适应性地压在卷带的周面上；测角传感器，其用于测量所述摆动件的摆动角度。本发明的另一实施例提供了一种基板研磨装置，在对基板研磨时实时测量卷带的卷径，并依据卷径调整释放和/或收卷的扭矩。本发明解决了晶圆研磨控制精度存在波动导致产品精度变差的技术问题。

华海清科成立于2013年4月10日，于2022年6月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为天津市。它是国内半导体CMP设备龙头，打破国外垄断，技术领先且具全产业链优势。

华海清科主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及增持回购、中盘股、专精特新等概念板块。

2025年，华海清科营业收入46.48亿元，行业排名7/25，高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元，远低于第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元。主营业务中，半导体装备40.54亿元占比87.22%，半导体服务5.94亿元占比12.78%。净利润10.83亿元，行业排名5/25，高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元，低于第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

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