机构指出，扩产大周期愈发明确，坚定看好科创半导体设备。存储批量扩产已开启： 4月29日，武汉正式发布重大项目规划，380 亿美元存储扩产计划官宣，以长江存储、武汉新芯为双核心。叠加此前合肥的大批量框架协议。国内两大存储厂商批量扩产已启动。先进逻辑存在超预期可能： 国内先进逻辑玩家正在变多，通线以及良率提升节奏良好，批量扩产即将到来，下半年扩产存在超预期可能性。

截至2026年5月6日 13:08，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.61%，成分股上海合晶上涨19.99%，神工股份上涨16.20%，沪硅产业上涨10.33%，天岳先进，拓荆科技等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.71%， 冲击3连涨。最新价报1.67元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。