4月1日消息，国家知识产权局信息显示，上海新阳（维权）半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种高选择比锗硅刻蚀液的制备”的专利。申请公布号为CN121759219A，申请号为CN202512015624.1，申请公布日期为2026年3月31日，申请日期为2025年12月30日，发明人王溯、演嘉辉、田亚辉、李慧，专利代理机构上海弼兴律师事务所，专利代理师陈卓，分类号C09K13/08、H10P50/64。

专利摘要显示，本发明公开了一种高选择比锗硅刻蚀液的制备。具体地，所述的制备方法包括以下步骤：将氟化物、氧化剂、抑制剂、缓冲组分和溶剂混合，得到所述的锗硅刻蚀液，其中，所述氟化物的质量百分比为0.1%‑5%；所述氧化剂的质量百分比为5%‑70%；所述抑制剂的质量百分比为0.1%‑2%；所述缓冲组分的质量百分比为1%‑5%；所述质量百分比为各组分质量占各组分总质量的百分比；各组分质量百分比之和为100%；所述的抑制剂为EO‑PO聚合物。本发明制备得到的锗硅刻蚀液可以选择性加快对硅‑锗合金的刻蚀速率，具有较高的选择比。

上海新阳成立于2004年5月12日，于2011年6月29日在深圳证券交易所上市，注册地址和办公地址均为上海市。它是国内领先的集成电路关键工艺材料供应商，产品涵盖电子化学品等，技术实力强。

上海新阳所属申万行业为电子-电子化学品Ⅱ-电子化学品Ⅲ，涉及股权激励、存储概念、深股通等概念板块。其主营业务有两类，一是集成电路制造及先进封装用关键工艺材料及配套设备的研产销与服务，提供整体化解决方案；二是环保型、功能性涂料的研产销及相关服务，提供专业涂装业务解决方案。

2025年，上海新阳营业收入19.37亿元，在行业6家公司中排名第4，低于第一名鼎龙股份的36.6亿元、第二名光华科技的29.64亿元，行业平均数为23.7亿元，中位数为23.57亿元。主营业务中，集成电路材料收入14.79亿元，占比76.35%；涂料品4.2亿元，占比21.68%；集成电路材料配套设备及配件3424.54万元，占比1.77%；其他400.22万元，占比0.21%。净利润方面，2025年为3.01亿元，在行业中排名第2，仅次于鼎龙股份的7.96亿元，行业平均数为2.81亿元，中位数为1.78亿元。

上海新阳半导体材料股份有限公司近期专利情况如下：

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