普达特科技成功交付高温硫酸清洗设备及多台晶圆清洗设备_资讯

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2026-02-11 12:28:03

2月11日，普达特科技（00650）发布公告，近期成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备，该设备广泛应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺。

此设备经过前期测试验证，技术性能达到海外设备标准，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，能够覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺。同时，该设备还具备集成化与兼容性设计，能够为客户提供更具综合竞争力的解决方案。

此外，公司还成功向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备，其中包括向一家12英寸晶圆代工厂客户交付一台OCTOPUS设备和向一家高性能模拟与功率器件客户交付的OCTOPUS设备与CUBE设备。

上述成功交付的订单中，有两台设备订单来自现有客户的重复订单。公司将继续致力于完成半导体清洗设备的订单交付与验收，充分发挥技术团队在半导体湿法技术方面的优势，扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用。