昊华科技：核心特气产品实现国产化替代，电子混配气用于多环节
创始人
2026-02-09 16:38:03
投资者提问：
众所周知,现社会全力发展科技自主自控,请问公司在高纯电子特气能打破国外在半导体上的垄断吗?之前说公司正在研发光刻用电子混配气产品,请问可以用在哪方面.可以能简单介绍下吗?谢谢
董秘回答(昊华科技SH600378)：
尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关心和支持！公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业，其自主研发的三氟化氮、六氟化钨等核心特气产品实现国产化替代。研发电子混配气主要应用于离子注入、光刻等环节。
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