恒运昌(688785.SH)：公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商_资讯

恒运昌(688785.SH)：公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商

创始人

2026-02-05 21:59:12

格隆汇2月5日丨恒运昌(688785.SH)近日在接待机构投资者调研时表示，拓荆科技于2018年与公司开展等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，公司产品于2020年下半年开始逐步批量交付拓荆科技。公司与拓荆科技合作范围不断扩展至PEALD 设备、HDPCVD 设备及先进封装的键合设备领域，相关设备目前均在持续推进等离子体射频电源系统的合作验证工作。

此外，公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半导体设备商。公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年上半年，公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破。公司还为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器，客户结构持续多元化。

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