转自：大众新闻-大众日报

1月30日上午，在德州职业技术学院集成电路制造工艺实践中心，一片硅片经过薄膜制备、光刻图形化、刻蚀、清洗去胶、封装键合、功能测试，成功制造出多颗可用于传感器的集成电路芯片，流片成功标志着在我国北方地区职业院校中，首个真正实现“从硅片到芯片”全流程制造的实践教学平台已经初步建成；未来该专业学生们也可以亲手将一枚光秃秃的硅片，制造成一颗具备特定功能的、可测试可应用的集成电路芯片。

德州职业技术学院2021年设立集成电路专业，2025年成立集成电路产业学院，目前该产业学院已有在校学生1600多人。该校集成电路产业学院院长崔健博士向记者介绍，集成电路产业是信息技术的心脏，是国家科技自立自强的战略基石。然而，高端技能人才，尤其是精通完整制造流程的“现场工程师”，缺口巨大。许多学生毕业后进入企业，面对动辄数十亿投资的产线和复杂精密的工艺，需要很长的重新适应期。传统的职业教育，往往受限于设备、场地和成本，难以提供这种覆盖全链条的、真实的制造体验。建设这个中心，就是要打破这一瓶颈。目标就是在学校里，复现一个真实的、可运行的微型芯片制造环境。

据介绍，这个中心构建了一条完整的“教学型”芯片制造短流程线。它涵盖了芯片制造最核心的六大模块，从一片普通的硅片进入中心开始，它将经历：薄膜沉积：在我们的磁控溅射系统上，为其镀上纳米级厚度的金属或介质薄膜，这相当于为芯片搭建“地基”和“导线”。光刻与图形化：通过匀胶、曝光、显影，利用分辨率达微米级的光刻机，将设计好的电路图形“印刷”到硅片上，这是决定芯片功能精度的关键一步。刻蚀：使用干法刻蚀系统，精确地去除未被光刻胶保护的材料，将图形永久地转移到硅片上。后道工艺：经过清洗、去胶后，进行芯片的划片、封装，并通过键合机实现芯片与外部世界的电气连接。测试与验证：最后，在一维磁场探针台、芯片演示系统等设备上，对制造出的芯片进行性能测试，并在具体的应用场景（如转速测量）中验证其功能。

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整个流程，从“硅片”入到“芯片”出，全部在这个中心完成。崔健介绍，目前，这套设备工艺能力可以达到3微米特征尺寸，这对于教学实训、技能培养和初期的产品开发验证而言，已经是一个极其宝贵和先进的平台。因为此前，能具备如此完整、连续、可实际制造芯片的工艺链的职业院校实训基地，多集中在长三角、珠三角等产业高度集聚区。在北方地区的职业院校德州职业技术学院是第一家真正打通了这条“校园芯片制造之路”的职业学院。这不仅是硬件设备的突破，更是一整套课程体系、实训项目、师资能力和管理规范的全面升级。它不仅仅是一座投入使用的实训室，更标志着我们服务国家“芯”战略的能力，迈上了一个全新的实质性的台阶。

目前学生已经放假，而德州职业技术学院集成电路产业学院的30多名教师，正抓紧利用这个时间掌握制造流程工艺，从下个学期开始这些设备将投入到教学中。对学生而言，获得的将是不可替代的“制造全景体验”。他们不再是学习孤立的设备操作，而是掌控从材料到产品的完整价值链。崔健表示，当学生们手持自己参与设计、自己操作设备、自己封装测试的芯片，看到它成功驱动一个演示系统时，那种成就感和对专业的认同，是任何虚拟仿真或片段化实训都无法给予的。这培养的是真正的“系统工程师”思维。对产业而言，提供了一个稀缺的“人才培养前置基地”和“技术验证微缩平台”。企业可以将部分初级工艺培训前置到学院，学生毕业即能上手，大大缩短了企业培训成本。本地中小微科技企业、创新团队，也可以利用我们的平台进行小批量流片、工艺试验和原型验证，这无疑将助力德州“中国集成电路关键材料基地”的生态建设，让材料研发与芯片制造实现更紧密的互动。

德州职业技术学院副院长梁强表示，对学院自身而言，这是“双高计划”建设的核心引擎。它让集成电路技术专业群，有了足以匹配其发展雄心的“心脏”。围绕这条真产线，课程改革、教材开发、师资锻炼、“岗课赛证”融通，都有了最坚实的依托。这颗在校园里诞生的“芯片”，虽然其线宽还不是最先进的，但其承载的梦想和责任是巨大的。它承载着学生们成为中国集成电路产业合格建设者的梦想，承载着职业教育通过深层次改革精准赋能地方产业的梦想，也承载着德州职业技术学院在国家战略中展现担当的梦想。未来将继续深化其“教学、科研、生产、培训”四位一体的功能，让集成电路产业学院真正成为北方地区集成电路领域高技能人才的摇篮和技术服务的节点，为我们国家的“芯”火相传，贡献一份坚实而独特的“德职力量”。

近年来，德州市将集成电路产业作为“一号产业”全力打造，坚持高标准推进，产业实现了从无中生有到异军突起的跨越。在“十四五”期间，“有研系”项目陆续落地投产，从6英寸、8英寸到建成山东省第一条12英寸集成电路用大硅片生产线，德州成为全国7个大尺寸硅片生产基地之一，推动德州从“单一项目布局”迈向“产业链条培育”，在全国集成电路关键材料领域中占据一席之地，并逐步构建起覆盖材料制备、芯片设计、封装测试与终端制造的完整产业链。目前德州已集聚新一代信息技术产业企业185家，2024年实现营收超过300亿元。2025年世界集成电路协会发布《2025年全球集成电路产业综合竞争力百强城市白皮书》，山东省济南、青岛、德州三市入选，德州为首次入选，列第99位。

（大众新闻记者  张海峰  通讯员 李金甫）