2月1日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种接触式表面形貌测量装置”的专利，授权公告号CN223856393U，授权公告日为2026年1月30日。申请号为CN202520564813.7，申请公布日期为2026年1月30日，申请日期为2025年3月28日，发明人苏恒中、相宇阳、陈剑，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师严慧，分类号G01B7/28。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种接触式表面形貌测量装置，该装置包括测试台和测量模块。在测量模块中，探针与施压组件机械连接，探针的针头与测试台的放置平面垂直设置，施压组件为探针提供压向放置平面的压力，使探针的针头与待测晶圆的表面保持接触；电容传感器与探针机械连接，电容传感器能够对探针在第一方向上的运动位移进行采样，其中，第一方向为垂直于放置平面的方向；压力控制单元分别与电容传感器和施压组件连接，压力控制单元根据运动位移的采样结果，对应调整施压组件为探针提供的压力，实现了对探针压力的动态调整，使得探针压力与其运动位移相适应，防止因被测表面凸起造成的器件损坏，降低了探针划伤被测表面的风险。

天眼查数据显示，无锡卓海科技股份有限公司成立日期2009年6月3日，法定代表人相宇阳，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本7168.6725万人民币，实缴资本6206.7万人民币，注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目103次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息183条，拥有行政许可40个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下：

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