12月30日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“一种单晶炉用的导流筒装置以及单晶炉”的专利,授权公告号CN116641134B,授权公告日为2025年12月30日。申请公布号为CN116641134A,申请号为CN202310701935.1,申请公布日期为2025年12月30日,申请日期为2023年6月13日,发明人杨文武、梁万亮,专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师沈寒酉、归莹,分类号C30B29/06、C30B27/02。
专利摘要显示,本发明实施例公开了一种单晶炉用的导流筒装置、单晶炉以及单晶硅棒;所述导流筒装置包括沿径向方向呈波浪状起伏变化的底面,从而以惰性气体的流速增大的方式引导所述惰性气体。
西安奕材于2016年3月16日成立,于2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司专注12英寸硅片业务,是国内半导体材料领域的新兴力量。
西安奕材所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,概念板块涵盖近端次新、次新股、存储概念,主营业务是专注于12英寸硅片的研发、生产和销售。
2025年三季度,西安奕材营业收入为19.33亿元,在行业25家公司中排名第6,高于行业平均数14.97亿元和中位数8.27亿元,但与第一名有研新材的67.7亿元、第二名雅克科技的64.67亿元差距明显。净利润方面,当期亏损5.58亿元,行业排名24/25,远低于行业平均数6112.16万元和中位数7390.27万元,第一名雅克科技净利润达8.64亿元,第二名江丰电子为3.61亿元。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511602298.8 | 2025-11-04 | CN121132500A | 2025-12-16 | 杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东 |
| 2 | 研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511479663.0 | 2025-10-16 | CN121083517A | 2025-12-09 | 樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫 |
| 3 | 一种抛光垫清洗设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511422964.X | 2025-09-30 | CN121082581A | 2025-12-09 | 李凡 |
| 4 | 砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511418705.X | 2025-09-30 | CN121104902A | 2025-12-12 | 朱海海 |
| 5 | 一种晶圆检测方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511296601.6 | 2025-09-11 | CN121123050A | 2025-12-12 | 蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣 |
| 6 | 硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511297217.8 | 2025-09-11 | CN121149050A | 2025-12-16 | 贾帅、王力 |
| 7 | 一种晶圆检测结果可信度的确定方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511296784.1 | 2025-09-11 | CN121167181A | 2025-12-19 | 李安杰、兰洵、田雨欣、邹永鑫、张婉婉 |
| 8 | 晶圆边缘轮廓的量测方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511294502.4 | 2025-09-11 | CN121190413A | 2025-12-23 | 李彤、袁力军、霍延伟、兰洵 |
| 9 | 一种硅片制程部署方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511271660.8 | 2025-09-08 | CN121123048A | 2025-12-12 | 吴志刚、齐凌博 |
| 10 | 外延反应腔室恢复方法和外延生长装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511274241.X | 2025-09-08 | CN121137798A | 2025-12-16 | 韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯 |
| 11 | 一种虚拟量测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511212931.2 | 2025-08-28 | CN121092862A | 2025-12-09 | 李安杰、田雨欣、邹永鑫、张婉婉、兰洵 |
| 12 | 一种拦截策略确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511189436.4 | 2025-08-25 | CN121051383A | 2025-12-02 | 马强强、万珣 |
| 13 | 硅片中体金属的去除方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511110372.4 | 2025-08-08 | CN120954971A | 2025-11-14 | 齐凌博 |
| 14 | 控制硅片中体金属的扩散方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511110415.9 | 2025-08-08 | CN120954972A | 2025-11-14 | 何刚、齐凌博 |
| 15 | 一种晶圆的清洗干燥方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511106481.9 | 2025-08-08 | CN120954964A | 2025-11-14 | 夏新超、张树星、陈海龙 |
| 16 | 一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511111982.6 | 2025-08-08 | CN121190956A | 2025-12-23 | 叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚 |
| 17 | 晶圆的处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511102765.0 | 2025-08-07 | CN120854308A | 2025-10-28 | 杨震、王雷、王琳 |
| 18 | 一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511095534.1 | 2025-08-06 | CN120933183A | 2025-11-11 | 贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉 |
| 19 | 晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511096636.5 | 2025-08-06 | CN120933184A | 2025-11-11 | 苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮 |
| 20 | 晶圆表面钝化方法、晶圆寿命测试方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511095839.2 | 2025-08-06 | CN121149007A | 2025-12-16 | 杨雪莹 |
| 21 | 用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件 | 发明专利 | 公布 | CN202511092282.7 | 2025-08-05 | CN121130583A | 2025-12-16 | 赵栋、叶森、郝胤祚、冯智 |
| 22 | 一种晶圆的制造方法及设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511025878.5 | 2025-07-24 | CN120977870A | 2025-11-18 | 吴志刚 |
| 23 | 硅片机械性能的评估方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202510984192.2 | 2025-07-17 | CN120761184A | 2025-10-10 | 袁力军、邹亚辉、衡鹏、尚荔阳 |
| 24 | 重掺单晶棒及其制备方法、重掺外延硅片及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510986892.5 | 2025-07-17 | CN120797179A | 2025-10-17 | 霍慧文、刘倩、王晨阳 |
| 25 | 一种晶圆及其制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510988379.X | 2025-07-17 | CN121054569A | 2025-12-02 | 薛浩波、张婉婉、衡鹏、邹亚辉 |
| 26 | 用于监测电阻率测试设备的稳定性的方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510987534.6 | 2025-07-17 | CN121049819A | 2025-12-02 | 何斌斌、俎世琦 |
| 27 | 一种抛光头及抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510968213.1 | 2025-07-14 | CN120620064A | 2025-09-12 | 吕绍沈、王明、贺云鹏 |
| 28 | 一种销环组件、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510966103.1 | 2025-07-14 | CN120620063A | 2025-09-12 | 陈祖庆 |
| 29 | 硅片的厚度测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510964157.4 | 2025-07-14 | CN120740458A | 2025-10-03 | 蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝 |
| 30 | 一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510965838.2 | 2025-07-14 | CN120895461A | 2025-11-04 | 郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆 |
| 31 | 单晶硅棒的制造方法、硅晶圆及其制造方法以及拉晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202510968033.3 | 2025-07-14 | CN120989701A | 2025-11-21 | 车宇航、兰洵、王文娟 |
| 32 | 一种半导体结构以及制备半导体结构的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510968093.5 | 2025-07-14 | CN121013402A | 2025-11-25 | 张博、兰洵、车宇航、王文娟、杨博康 |
| 33 | 一种硅片表面金属采集装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510934798.5 | 2025-07-08 | CN120800951A | 2025-10-17 | 段应娇 |
| 34 | 双面研磨装置和双面研磨方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863147.1 | 2025-06-25 | CN120461314A | 2025-08-12 | 郭宏雁、王俊夫 |
| 35 | 吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863056.8 | 2025-06-25 | CN120649139A | 2025-09-16 | 冀泓宜 |
| 36 | 晶体生长方法、晶圆制作方法和晶体生长控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510858615.6 | 2025-06-25 | CN120649138A | 2025-09-16 | 刘倩、霍慧文、王晨阳 |
| 37 | 晶圆干燥装置及方法、控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863016.3 | 2025-06-25 | CN120690723A | 2025-09-23 | 贾晓东 |
| 38 | 阻尼手指的调整方法及装置、晶圆平坦度检测装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863146.7 | 2025-06-25 | CN120701698A | 2025-09-26 | 李宇卓 |
| 39 | 晶圆检测设备及晶圆检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863105.8 | 2025-06-25 | CN120895487A | 2025-11-04 | 郭宏雁、杨轩、胡文龙、王俊夫、马驰 |
| 40 | 硅片评价方法、制造方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510863018.2 | 2025-06-25 | CN120970526A | 2025-11-18 | 袁力军、兰洵、张婉婉、薛浩波 |
| 41 | 一种硅片边缘应力指标确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510848864.7 | 2025-06-24 | CN120690705A | 2025-09-23 | 苏博文、齐凌博 |
| 42 | 硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849509.1 | 2025-06-24 | CN120709210A | 2025-09-26 | 卢龙龙 |
| 43 | 物料搬运控制方法和物料搬运系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849275.0 | 2025-06-24 | CN120709209A | 2025-09-26 | 王允斌、陈建勇、任瑞明、张钊、何江博 |
| 44 | 一种导电切割线的状态检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510851822.9 | 2025-06-24 | CN120870242A | 2025-10-31 | 李昊、刘永亮、胡斌 |
| 45 | 承载装置及晶圆清洗设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510851918.5 | 2025-06-24 | CN120895524A | 2025-11-04 | 郭宏雁、贾晓东、郭盾、叶森 |
| 46 | 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510852496.3 | 2025-06-24 | CN120895459A | 2025-11-04 | 郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超 |
| 47 | 一种晶圆缺陷检测方法、装置及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202510843172.3 | 2025-06-23 | CN120765556A | 2025-10-10 | 郭宏雁、付子成 |
| 48 | 用于晶棒内铁污染的评估方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510835787.1 | 2025-06-20 | CN120779194A | 2025-10-14 | 冯举、齐凌博 |
| 49 | 一种药液供给装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510822975.0 | 2025-06-19 | CN120480811A | 2025-08-15 | 张鹏奎 |
| 50 | 抛光头组件、控制装置、抛光设备及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510823305.0 | 2025-06-19 | CN120680427A | 2025-09-23 | 李娜、贺云鹏 |
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