数据显示，12月2日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购443.92万元，位居当日股票ETF净流入排名145/1071。最新规模3.68亿元，前一日规模3.68亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.21%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回1550.11万元，位居股票ETF净流出排名第262/1071。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购233.33万元，位居股票ETF净流入排名第308/1071。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回8765.1万元，位居股票ETF净流出排名第120/1071。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止12月2日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为3.32亿份，最新规模为3.68亿元。

流动性方面，截止12月2日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额7.05亿元，日均成交金额3523.34万元；

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益10.81%。

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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