来源：无锡日报

原标题：用“国产替代”抢占“芯”赛道

　　无锡经开区集成电路产业发力“高精尖”

　　近日，研微（江苏）半导体科技有限公司再传捷报——成功交付2台自主研发的国产替代设备。近年来，无锡经开区集成电路企业凭借一次次打破垄断、一个个国产替代突破、一回回填补国内空白，在高手云集的半导体赛道站稳脚跟。

　　研微半导体自成立之初便锚定国产替代赛道。“这是一条难而正确的道路。”企业创始人兼董事长林兴回忆，尽管有“耐心资本”与经开区的全力支持，但面对从零起步的设备研发，团队始终承受着巨大压力，“深夜的每一个时刻，我们几乎都见过。”历经两年多沉淀，企业成功推出国内先进的纳米制程原子层沉积设备，此后便如同打通“任督二脉”，一台接一台国产替代设备陆续交付给国内集成电路领先企业。

　　高精尖产品为研微半导体赢得了持续的市场认可。“交流中常能听到客户说‘听说你们还有其他好产品，我们也想试试’。”林兴介绍，此次交付的设备中，既有首次交付头部逻辑大厂用于硬掩膜的氧化物新材料ALD，亦有存储大厂客户的“回头单”——新金属ALD，一系列产品的成功落地，让企业扩大规模的底气更足，“新厂房已在规划中，预计明年动工建设。”

　　无锡是全国集成电路产业高地之一，经开区如何脱颖而出？研微半导体的跨越式成长给出了答案：筑牢产品技术壁垒，成为高精尖产品国产替代进程中不可或缺的一环。“无锡经开区集成电路产业虽起步晚、规模小，但技术含量却不低，规上企业中，产品可实现国产替代的企业数量约占总数的六成。”无锡经开区经济发展局副局长宣敏浩介绍，随着越来越多企业凭借自研的高精尖产品在行业内崭露头角，区域集成电路产业迈入快速发展期，2024年，全区规上企业营收同比增长33.9%，增速位居全市第二。

　　如今，在国产替代赛道上，无锡经开区企业的好消息纷至沓来：真贺科技自主研发的半导体老化测试设备LZH-48P进入长江存储，成功替代全球半导体测试设备龙头企业的同类产品；索奥阀门自主研发的半导体真空钟摆阀攻克关键技术，填补国内空白；海莱德等离子体LocalScrubber设备打破国外垄断，成功远销中东市场……

　　“得益于7月研发成功的、能填补国内空白的半导体真空钟摆阀，企业今年营收预计增长50%。”索奥阀门运营副总褚倩说，已有十余位客户冲着这款产品签下订单。目前，企业另一款具备国产替代属性的新产品尚未下线，便有客户主动伸出“橄榄枝”，愿意参与“尝鲜”测试。

　　一个又一个振奋人心的案例，既见证着无锡经开区企业的茁壮成长，也展示着区域集成电路产业的蓬勃态势。“我们正打造‘小而美’‘小而精’的集成电路产业生态，通过一个个可国产替代的产品，彰显区域产业独特的辨识度。”谈及未来，无锡经开区相关负责人充满信心，至2027年，经开区集成电路产业规模将冲刺30亿元目标。（徐兢辉、陆飞宇）