上海奉贤：支持企业发展先进制程集成电路配套材料 如6N级以上高纯靶材、深紫外光刻胶及配套试剂等
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2025-07-11 10:56:59

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财联社7月11日电，上海市奉贤区人民政府办公室11日发布《奉贤区通用新材料产业发展行动方案（2025-2027）》。其中提出，以上海电子化学品专区为载体，以杭州湾开发区、工业综合开发区为重点，依托确信乐思、同创普润、康美特等企业，重点发力湿化学品、高纯靶材、电子气体、半导体封装材料等集成电路配套材料方向。支持企业发展先进制程集成电路配套材料，如6N级以上高纯靶材、G3级以上高纯试剂、深紫外光刻胶及配套试剂等，加快实现国产替代。推动同创普润新材料产业园项目落地，打造产业链生态拓展空间。

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