转自：衢州日报

　　记者 王继红 通讯员 柴岗元

　　一种特种气体（以下简称“特气”）可以做到多大？浙江中宁硅业股份有限公司（以下简称“中宁硅业”）的答案是，全国龙头。

　　高纯硅烷、乙硅烷、四氟化硅、氟氮混合气、一氧化二氮……7月2日，走进中宁硅业，记者看到多种特气样品。公司总经理栗广奉自豪介绍，其中高纯硅烷纯度≥99.99998%，是国内首家国产化规模生产的厂家，也是国内唯一同时进入半导体、液晶、光伏和镀膜玻璃四大领域的硅烷生产厂家，已进入国内20多家高端半导体客户，拥有100余家终端客户，还是硅烷产品国家标准的起草者之一。

　　以半导体行业为例，客户对特气新产品的使用非常严格。产品体系文件审核、现场审核合格后，进入小批量上线试用，然后中批量，最后才能量产。每一阶段每次试验结果都需要首先在客户公司内部产品检测合格后 ，再经过三代（即客户下游，以及客户下游产品的下游）验证，生产出合格产品后，才算试验合格。任何一个环节出现问题，就将前功尽弃。

　　面对如此严苛的挑战，从2018年至2024年间，中宁硅业从只有硅烷单一产品起步，跨越到以电子特气为基础，协同发展新能源材料，瞄准第三代半导体材料这三大领域，解决系列“卡脖子”难题，让人倍感振奋。

　　中宁硅业2007年12月成立，投资生产多晶硅。可是产线投产时，国内多晶硅产业因面临“双反”和产能过剩，迎来寒冬。让中宁硅业获得一线生机的是，公司生产多晶硅的中间产品硅烷气是光伏、液晶显示屏、半导体芯片制造等领域需要的产品，且当时国内完全依赖进口。中宁硅业迅速调整战略，对中间产品硅烷进行研发，提纯、除杂、包装，生产出满足市场需求的高纯硅烷，并直接销售，迈上生产电子特气之路。公司电子级硅烷十年余前就被科技部评为国家重点新产品。但因硅烷产量小，企业负债巨大，2017年，中宁硅业面临破产。

　　硅元素与电子信息产业之间，特气等电子化学品是绕不过的坎。2018年4月，上市公司多氟多股份等共同出资完成中宁硅业破产重整。明确中宁硅业以电子特气产品为突破口，走差异化发展道路，成为半导体级电子化学品集成供应商，打造中国电子化学品“南基地”。

　　内抓管理、外拓市场，中宁硅业走出衢州，走向世界：在电子化学品领域，高纯四氟化硅和高纯乙硅烷气体是半导体集成电路行业中的重要原料，主要集中在美国和日本，高端产品100%依赖进口。2020年作为蚀刻气体的高纯四氟化硅，被列为省级相关项目，2022完成产品研发并全面投产，实现年产能300吨，成为国内唯一能大批次生产的企业。去年主要应用于14纳米及以下先进制程芯片的高纯乙硅烷项目又上榜省科技厅尖兵项目，目前已投放市场，再次实现突破。

　　目前，中宁硅业已经营10多种电子特气，主打产品由99.9999%纯度的光伏级领域，拓展到液晶显示屏和半导体芯片领域，这些领域在微量杂质方面要求更高，达到ppb甚至是ppt级别（ppm是百万分之一，ppb为十亿分之一，ppt为万亿分之一）。产品通过多次上线验证、客户稽核，成功进入中芯、台积电、京东方、长江存储等泛半导体企业，同时走出国门，进入东南亚市场。中国特气“南基地”雄姿初展。

　　“公司在朝着国际一流的半导体和新能源材料综合服务商这一目标愿景迈进。”公司负责人相告，他们已与浙大院士团队合作开发用于量子通信和量子计算机用的电子特气，已被列入国家重大专项。