苏州制造:国产首台200kV场发射透射电镜破壁而生
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2025-07-01 21:06:18
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6月28日,苏州博众仪器科技有限公司自主研发的国产首台商用200kV场发射透射电子显微镜在苏州市吴江区重磅发布。该电子显微镜点分辨率达0.25纳米,各类技术指标比肩国际一流水准。这一成果填补了国内透射电子显微镜200kV场发射这一高端机型领域的空白,打破了国外在高端电镜领域的长期垄断,为我国科研领域注入了强大动力。

博众仪器产品发布会。图片来源/博众仪器

从0到1的突破

在国产首台商用200kV场发射透射电子显微镜的首发仪式上,现场气氛热烈而激动。93岁高龄的科学工作者姚骏恩先生在视频中激动得几度哽咽:“感谢博众仪器的全体成员,是你们填补了国内空白,更圆了我们科研工作者用上国产透射电镜的心愿!”

发布会上姚骏恩先生视频致辞。图片来源/苏州吴江发布

作为微观观测领域的重要工具,透射电子显微镜是半导体技术、尖端材料科学、生命科学研究以及原子级制造等战略性领域的关键设备,其技术自主可控程度直接关系到国家战略科技实力与产业链安全稳定。早在2018年,透射电子显微镜就已被科技部列入制约我国工业发展的35项“卡脖子”关键技术清单。然而,我国透射电子显微镜的发展历程却异常曲折。

由于种种原因,中国透射电子显微镜的研发一度中断,使得国内很长一段时间内没有任何一家企业生产透射式电镜,市场完全依赖进口。2022年我国一共进口透射电镜约300台,花费超30亿元。而西方国家对我国长期进行核心技术封锁,核心部件长期受制于海外。因此,即使国内市场虽然需求巨大,却完全依赖进口,特别是在200kV场发射这类高端机型市场中,国产产品占比几乎处于空白状态。

面对国内市场的长期空白与国外的技术垄断,苏州博众仪器科技有限公司自主攻坚,勇破“卡脖子”难题。历经5年磨砺,于6月28日发布国产首台商用200kV场发射透射电子显微镜。该电子显微镜点分辨率达0.25纳米,晶格分辨率达0.14纳米,能够直接分辨绝大多数材料的晶格结构,相当于材料科学的“眼镜”。其各类技术指标比肩国际一流水准,能广泛适用于晶格尺度结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等各种研究。这一成果彻底打破了国外在高端机型领域的长期垄断,实现了我国在该领域“从0到1”的跨越,为中国高端科学仪器自主化进程树立了里程碑式的突破。

五年磨就“科技之剑”

“这条透射电镜领域创业的路途是异常曲折的,没有人才、没有技术、没有供应链,缺乏客户与资金,困难重重下团队也曾迷茫。”博众精工董事长吕绍林在发布会上回忆道,“是解决国家‘卡脖子’技术的坚韧信念,让团队走到了今天。”

博众仪器争做透射电镜领域冲锋在前的创新“排头兵”,决定自主研发高端透射电镜。然而,自主研发之路却异常曲折。面对人才匮乏、技术空白、供应链缺失与资源资金短缺的难题,研发团队在五年攻关期间也曾多次陷入迷茫,甚至在深夜中“悄悄抹泪”。但凭借着攻克困局、实干争先的坚定信念,博众仪器最终坚持到底。2022年,博众仪器成功研制出国内首台200kV透射电子显微镜原型机,划破技术封锁的阴霾;2024年,博众仪器完成第二代产品迭代升级,性能与可靠性显著提升。2025年,国产首台商用200kV场发射透射电子显微镜重磅发布,标志着中国在高端显微仪器领域拥有了与国际巨头同台竞技的底气。这五年磨就的“科技之剑”,不仅斩断了长期受制于人的枷锁,更让半导体晶圆缺陷检测、纳米材料原子级观测等场景有了国产装备支撑。

“经过五年的技术攻关与反复锤炼,从整机产品到每一个关键零部件,如今,博众仪器已把全链条核心技术牢牢掌握在自己手中。”博众仪器总经理唐爱权介绍道,“随着BZ-F200透射电镜在材料科学、生命科学、半导体等领域的深入应用,我们的产品将成为驱动新质生产力培育和发展的重要技术引擎。”

BZ-F200透射电镜微缩模型。图片来源/苏州吴江发布

高端电镜自主化的新征程

“这是我们国家透射电镜发展史上具有里程碑意义的事件,是会被写入中国科学仪器发展史里的一个事情。”中国仪器仪表学会分析仪器分会秘书长吴爱华评价道。这一成果不仅彻底打破了我国高端透射电子显微镜长期受制于人的被动局面,更铸就了中国高端科学仪器自主化进程中的崭新里程碑。它标志着中国高端透射电镜产业走过了从图纸到商业化产品的“长征路”,意味着国内科研仪器应用不再受制于人,并为全球用户提供了更多选择。

“当时就想着做有价值、有意义的事情。这条路很难,但一想到能突破技术壁垒,浑身就充满了劲儿。”吕绍林在发布会上表达了对未来的期许,“电子显微镜的研发是一条‘长征路’,我们已迈出了第一步,前方必然还有无数困难需要克服。博众团队将坚持百折不挠、迎难而上的作风,持续在高端透射电镜领域勇往直前。”不满足于已有的优秀成绩,博众仪器将持续深耕电子束核心技术领域,不断拓展完善产品线矩阵,做敢啃“硬骨头”的领头企业。

从最初的立项到如今的商用发布,博众仪器用五年时间完成了一次艰难的技术突围。这不仅是一个企业的成功,更是中国科研仪器自主创新的一次重大突破。它向世界证明,中国有能力在高端科技领域突破封锁,实现自主可控。随着BZ-F200透射电镜在多个行业的深入应用,这场始于技术攻坚的突破,正在演变为撬动多个战略性新兴产业升级的支点,开启中国高端制造价值链攀升的新征程。

文/庄佳威

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