截至2025年6月20日 10:02，中证半导体材料设备主题指数上涨0.77%，成分股三佳科技上涨4.80%，晶瑞电材上涨4.10%，华海诚科上涨2.09%，有研新材上涨2.09%，神工股份上涨2.07%。半导体材料ETF(562590)上涨0.67%， 冲击3连涨。最新价报1.06元。

跟踪精度方面，截至2025年6月19日，半导体材料ETF近3月跟踪误差为0.014%，在可比基金中跟踪精度较高。

消息面上，2025世界半导体博览会将于2025年6月20日—22日在南京国际博览中心举办，荟萃IC设计、晶圆制造、封装测试、半导体设备与材料、半导体应用等尖端技术及前沿产品，聚焦EDA、先进制程、算力芯片、半导体材料、供应链安全等行业热点话题。

民生证券表示，人工智能对算力需求的带动，与美国关税政策下国产替代进程的加快形成共振，驱动多家半导体行业龙头企业快速发展，中国半导体产业或迎来新一轮增长周期，投资前景可期。

半导体材料 ETF（562590）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数精选 40 只业务深度覆盖半导体材料与半导体设备领域的上市公司证券作为样本。指数成分股中汇聚了多家在国产替代进程中表现突出的龙头企业 —— 例如在刻蚀设备领域实现技术突破的北方华创、中微公司，以及在硅片、电子化学品等关键材料环节打破海外垄断的沪硅产业、南大光电等，样本股的筛选既聚焦行业核心赛道，充分体现了半导体产业链自主化升级的发展趋势，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

半导体材料ETF(562590)，场外联接(华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A：020356；华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C：020357)。