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蚌埠发布客户端讯(融媒体记者 尤靖文)5月24日上午,在第七届智能传感器产业发展大会上,安徽华鑫微纳集成电路有限公司发布:8英寸晶圆生产线首批产品成功串线。这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠正式投产。
华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线是一条集硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成、2.5D/3D微系统集成于一体的灵活度高、兼容性强、体系完善研产高度协同的晶圆代工平台。其产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS执行器、环境传感器、喷墨打印头等。产线规划3万片/月的8英寸MEMS晶圆制造能力。
据了解,华鑫微纳定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。这意味着,智能传感器的核心部件——MEMS芯片,将在蚌埠生产并向全球的智能传感器企业供货,为整个产业链安全提供有力支撑。
“目前企业累计与50家客户达成合作意向,意向订单总计约21万片,另有3万余片晶圆合同正在洽谈中,将有效支撑2025年1万片达产。”安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理丁敬秀介绍。
中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生表示,8英寸MEMS晶圆全自动生产线对传感器产业化的发展起到了积极的支撑作用,它将引领带动国内智能传感器产业集群向高端化发展,重塑传感器产业链的构架和产业的格局。