5月13日，芯源微盘中上涨2.12%，截至13:06，报97.95元/股，成交2.79亿元，换手率1.43%，总市值197.02亿元。

资金流向方面，主力资金净流出19.50万元，特大单买入553.72万元，占比1.99%，卖出935.25万元，占比3.36%；大单买入5743.92万元，占比20.62%，卖出5381.90万元，占比19.32%。

芯源微今年以来股价涨17.12%，近5个交易日跌2.15%，近20日涨0.67%，近60日涨18.87%。

资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司位于辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号，成立日期2002年12月17日，上市日期2019年12月16日，公司主营业务涉及半导体专用设备的研发、生产和销售。主营业务收入构成为：光刻工序涂胶显影设备59.86%，单片式湿法设备36.76%，其他(补充)2.51%，其它设备0.86%。

芯源微所属申万行业为：电子-半导体-半导体设备。所属概念板块包括：中芯国际概念、半导体设备、先进封装、集成电路、芯片概念等。

截至3月31日，芯源微股东户数1.78万，较上期减少3.22%；人均流通股11278股，较上期增加3.33%。2025年1月-3月，芯源微实现营业收入2.75亿元，同比增长12.74%；归母净利润466.00万元，同比减少70.89%。

分红方面，芯源微A股上市后累计派现1.17亿元。近三年，累计派现6476.52万元。

机构持仓方面，截止2025年3月31日，芯源微十大流通股东中，银华集成电路混合A（013840）位居第四大流动股东，持股454.53万股，相比上期增加37.55万股。南方信息创新混合A（007490）位居第五大流动股东，持股394.42万股，相比上期增加21.39万股。东方人工智能主题混合A（005844）位居第六大流动股东，持股387.98万股，相比上期减少119.64万股。嘉实上证科创板芯片ETF（588200）位居第八大流动股东，持股347.04万股，相比上期增加5063.00股。前海开源公用事业股票（005669）位居第十大流动股东，持股280.14万股，相比上期增加1232.00股。