3月20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌1.31%，成交额8312.21万元。

半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止3月19日，半导体设备ETF（159516）最新份额为20.28亿份，最新规模为21.71亿元。回顾2024年12月31日，半导体设备ETF（159516）份额为16.81亿份，规模为16.85亿元。即该基金今年以来份额增加20.65%，规模增加28.84%。

流动性方面，截止3月20日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额36.20亿元，日均成交金额1.81亿元；今年以来，50个交易日，累计成交金额86.55亿元，日均成交金额1.73亿元。

半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益7.08%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、沪硅产业、华海清科、南大光电、拓荆科技、长川科技、TCL科技、鼎龙股份、中科飞测，持仓占比如下。

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