汉钟精机:半导体真空泵产品技术突破及合作情况
创始人
2025-03-18 16:06:59

投资者提问：

董秘，您好！请问贵公司半导体真空泵是否已获取 8/12 寸晶圆厂批量订单？贵司真空泵技术是否已突破半严苛 / 严苛制程？贵司真空泵产品是否已通过 8 寸、12 寸芯片代工厂及先进封装厂认证并批量交付？

董秘回答(汉钟精机SZ002158)：

您好，公司的干式螺杆以及多级鲁式和旋片泵系列真空产品，已获得 SEMI 安全基准验证证书，能满足于生产最先进半导体制程工艺以及各种清洁及严苛制程段所需的高真空场景。 目前与国内的部分机台商、晶圆厂都有合作，但量还较少，对业绩影响不大。感谢您的关注。

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